显微镜检测匀速运动的物体可大大提高检测精度

显微镜检测匀速运动的物体可大大提高检测精度
补偿物体位移的光学系统
    在检测匀速运动的物体时，一般要对物体的尺寸进行快速“定影”，以消除图象边界模糊，这可以利用机械或电子脉冲曝光来简单地达到这一目的，但这时由于曝光时间太短，可能使信杂比小到不能容许的程度。如果采用光学补偿位移，使物体的某一部分图象停留一个短暂的时间，然后再突然转向图象的下一部分，以此来延长曝光时间。
    通常是用旋转棱镜来达到光学补偿的目的，为此，将旋转棱镜安装在被摄物体和物镜之间，这能将物体的图象向与该物体运动方向相反的方向作周期性的移动，从而达到使图象停留一段时间的目的。
离散图象的光学系统    在用视频法测量物体尺寸时，由于存在着扫描的非线性、光栅几何畸变和光栅尺寸的变化，因而影响了检测精度的提高，使得不能把测量误差降低到被扫描尺寸的1～2％以下。但是如果在扫描图象之前，先对图象进行光学离散(把图象分解成许多个同样大小的部分)，则可大大提高检测精度。这是因为上述所有的不稳定因素，现在只能使所得到的视频脉冲的跟踪频率和相位发生变化，而不能改变决定着物体尺寸的视频脉冲的数目。