测量范围和测量精度是选择CCD的依据-工业显微镜CCD

测量范围和测量精度是选择CCD的依据-工业显微镜CCD

CCD器件的选择与相关设计    测量范围和测量精度是选择CCD的主要依据。    不同微机械器件高度尺寸范围的差别很大(约1～300 微米)，所对应的测量精度也不同。被测件的尺寸较大时，CCD可以直接放在聚光物镜的成像焦面上。尺寸很小时，为满足高的测量精度要求，聚焦物镜首次成像后还需后续一个二次像放大环节。此时CCD应放置在二次放大的成像面上。
    选择CCD的分辨率主要依据测量精度，而测量精度又与显微镜总的放大倍率有关。
图像测量系统的构成    1．扫描模块及机械扫描结构    线阵CCD的分辨率较面阵高，更多用于测量。线阵CCD本身具有一维自扫描特性，但用它获取二维图像，需要辅助的扫描处理。即y向通过线阵CCD自身电扫描完成，X向须由机械扫描保证。    扫描机构可设计如下：计算机控制步进电机带动精密丝杠转动，与丝杠外螺母相连的滚珠导轨滑块带动CCD作X向直线运动。CCD初始位置通过微调结构可进行精密调整，以保证扫描面与成像面重合。采用弹性双螺母结构消除丝杠与导轨的轴向间隙以提高传动精度。丝杠的螺距误差、同轴度误差及导轨直线度跳动误差通过精密加工保证。