间隙电压的检测微加工或超精加工检测显微镜

间隙电压的检测微加工或超精加工检测显微镜

过程控制
　　　　    只有当间隙距离在某一范围内时，放电才能发生。如果距离太大，放电不能发生。如果距离太小，由于通过熔化材料会形成一个电桥，放电之后会发生短路，短路会终止放电。　　    由于上面的特性，在放电加工控制中，间隙控制是主要的问题。
　　    因为放电的加工或多或少有随机过程，并且在电极进给方向的去除速度不固定，所以通常不采用固定的电极进给速度。　　    因此，控制方法包括，通过操作保持间隙距离为一常数。然而，间隙距离在过程中直接测量几乎是不可能的，主要原因是：间隙非常窄，0．5～50微米；间隙距离的变化遍及整个加工区域，并且最近点决定放电和短路的发生。由于这些原因，在所有的放电加工中都采用非直接的间隙距离检测。
　　在间隙电压的检测中，通常不需要特殊的传感器。传统的高阻抗探针通常用作测量设备，例如示波器，用起来没有任何问题。电压范围通常从50～200V。　　    当非常短的脉冲用于微加工或超精加工时，经常应用一个被称为“弛张型发生器”的特殊脉冲线圈。在这种状态下，从探针获得输入是很困难的，因为当其断路时，间隙的阻抗太高。此外，探针的输入电容可以改变放电能量。特殊的电压传感器可提供这个问题的解决办法，但大多数情况下间隙电压的检测被放弃，由检测输入间隙的电流所替代。