研究切削或磨削过程中加工工件的物理分析显微镜

工件中的传感器
　　    研究切削或磨削过程中对被加工工件的物理特性影响的最好的方法是在发生　　  作用的表面直接测量。然而，到目前为止只有极少数的传感器能够满足这种需　　  要。下面描述的涡流和微磁两种技术能够达到这种目的可能性最大。超声波技术用于裂纹检测，但并没有能力监测加工表面，因为由于频率的限制，其没有能力　　  解决加工表面前100微米内原材料的变化。这也是切削或磨削过程中对表面完　　  整性影响最大的区域。
涡电流传感器　　　　    用于裂纹检测的涡电流的测量原理基于如下事实，工件表面的裂纹将干扰在交流激励线圈测量区域内的涡流线。各种类型的传导材料都能测试。激励频率决定了渗透深度。工件的传导率和渗透性都被研究。这种方法的主要应用是监测材料的重要属性，例如，热处理到操作成功前确保合适的硬度和硬度深度Lz引。在切削过程中，还没有得知这种方法能应用于表面完整性特征的测试。　　    在磨削过程中，涡电流传感器用于监测裂纹的发生。电流基础的测量装置。其用于决定涡轮叶片根部表面在成型研磨过程中裂纹的产生。