测淀积温度应用两种类型的温度计：高温计和热电偶

测淀积温度应用两种类型的温度计：高温计和热电偶
测淀积温度，主要应用两种类型的温度计：高温计和热电偶。
高温计
　　    根据定义，高温计是一个用于高温测量的温度计。此温度计一般用于淀积室，监测淀积温度。为了描述所关注的不同点的净温度，几个这样的传感器可以安装在涂层装置内。不管对于整个生产还是对于试验工厂，高温计都是节省成本和较灵敏的解决方案，对于在原位、无接触、非破坏性的监测，高温计是可靠的工具。高温计可以作为模拟或数字传感器，其具有与积分数据获取系统相连接的基本结构。

热电偶
　　    除了压力测量外，用热电偶也能进行非常精确的温度测量，当两个不同的金属导线连接成一个线圈，并且两个连接点有不同的温度时，会在热电偶内产生一个非常小的电压差(用毫伏计测量)。既然电压依靠连接点的温度不同，其中一个点的温度必须保持已知。否则，电子补偿线圈必须作为这个装置的组成部分来测量传感器的实际温度。当提供电子绝缘和密封时，设计特殊的电子装置来传送热电偶仪器的信号。
涂层过程控制中的气体分析器
　　    对于涂层过程监测的一个非常重要的参数是过程残余气体的分析和控制。在这种方法中，应用以前的经验，当选定的气体规格超出预定的限制时，操作者通过报警器得到警告。结果可以避免，系统的停工以及质量低劣的产品。在PVD涂层过程中必须控制的气体数据如下：
    ·基本压力组成；
    ·气体纯度／组成；
    ·反应气体的分压力。
    对于气体分析，应用一个所谓的四极质谱仪。