不同的加工技术有其各自的特点、加工性能和适用范围

不同的加工技术有其各自的特点、加工性能和适用范围

　　    传统精密机械加工技术面向三维形状，对加工对象的材料适应性强，能够解决微小型系统承载结构件和系统微小型化的问题。目前精密机械、电子、光学等领域有大量的精密微小型零件都是采用传统精密机械加工工艺和精密机床制作的。
　　    微小型制造技术与MEMS(Micro Electro Mechanical System)技术的主要差异是在所使用的材料和制造工艺方法上。微小型制造技术集中于金属的机械制造工艺，利用工具成型几何表面，能适应多种材料，而MEMS技术集中于由半导体制造工艺发展而来的工艺方法和相关材料。微小型制造技术适于单个加工，而MEMS技术适于批量制作。微小型制造技术面向于三维可动微小零件、机构和装置，而MEMS技术趋向于平面微机械零件和MEMS器件。
　　    不同的加工技术有其各自的特点、加工性能和适用范围。现阶段普遍认为，有潜力的、适合于微小型制造的加工技术有激光微纳加工、超声波微细加工、磨料流动微细加工、微细电火花加工(Electrical Discharge Machining，EDM)、微细电化学加工(Eleetrical Chemical Machining，ECM)、微细铣削、微细钻削、微细磨削、聚焦离子束(Focused Ion Beam，FIB)加工、微细立体光刻(Stereolithography，SL)、微冲压、微挤压、流体喷射微细加工和微粒冲压等。