光学轮廓仪在标准显微镜上使用-物镜的设计

光学轮廓仪在标准显微镜上使用-物镜的设计
干涉光学轮廓仪    干涉型光学轮廓仪在标准显微镜上使用内置干涉仪的物镜取代了标准物镜。通过分析这些物镜获得的干涉信号，可以获得检测对象的定量数据。干涉光学轮廓仪通常通过记录很多帧数据，来估算每一个探测点上的表面高度。在测量过程中，干涉信号会随测量光束与参考光束的光路变化而变化，    用压电传感器或电动扫描来驱动物镜使其相对测试表面发生运动得到相移或者垂直扫描技术可以实现这种变化。一些利用光源光谱特性的方法可以避免机械扫描、如波长扫描、波长分散等。这些方法的细节与被检测对象的类型有关。    四种比较典型的干涉物镜装置是以迈克尔逊(Michelson)、米劳(Mirau)、林尼克(Llinnik)、菲佐(Fizeau)干涉仪为基础的。在为某一特定测量确定合适的物镜时，要考虑到很多因素。这些因素包括放大倍数、更精确的数值孔径用以分辨样本特征、测量样本上的斜率和高度。同时，需要选择能够测量样本上完整有用区域的放大率。    干涉物镜的设计受到系统的机械限制。四种典型物镜的区别在于光束被分成参考光束和测量光束的方式。其中，除了菲佐物镜外，参考镜都被放置在物镜的最佳聚焦点上，以便当样本被放置在焦点上时能够获得最佳条纹对比度。为了得到最佳聚焦位置，必须首先把测量对象放置在焦点上，然后移动参考镜直到获得最佳条纹对比度的位置，这个位置就相当于最佳聚焦位置。最佳条纹对比度正好对应着干涉仪内两个臂上物体的位置与参考镜之间的光程差(OPD)为零。