非球面设计用显微镜直接测量条纹的位置

  作者:厂家库小编DFW    2020-03-07    阅读:1012

非球面设计用显微镜直接测量条纹的位置
重要的是要考虑到被检表面可能没有旋转对称性,因此必须沿几个径向进行测量,以获得有关表面的完整信息。可用拍摄条纹照片的方法代替用显微镜直接测量条纹的位置,然后用普通的方法测量条纹的位置。
    如果基准面是球面,被检面是非球面(双曲面或抛物面),那么从检验球差的泰曼.格林(Twyman—Green)干涉仪上得到的干涉图样就是理想的条纹图样。
    基准面也可以是另外一个与被检面的理想形状完全匹配的非球面。这种方法对于制作凸非球面很有用,因为凸非球面的制作和检验要比凹非球面的制作和检验更复杂。这种方法的优点是零补偿检验。其缺点是两个表面共轴调整要求非常苛刻,因为两个面都有严格限定的轴,在检验过程中必须使这两轴重合。但这问题并不难解决,只要有一些实际操作经验和一些能够精细调节的设备就可以进行共轴调整。
  非球面光学元件的基本特点  表面形状的质量  球面表面具有一个固定的曲率半径,可以采用大接触面积的磨头加工,这些磨头只要正确操作,即使经过长时间的使用,仍具有很好的品质,没有明显的质量退化。另外,这些磨头在随机路径上运动,可以避免元件表面“带状”疵病的产生。因此,即使使用相对简单的机器,都可以加工出高质量的球面表面。

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