光学轮廓仪中使用的白光光源具有宽带可见光谱

光学轮廓仪中使用的白光光源具有宽带可见光谱

白光干涉光学轮廓仪    白光干涉(wu)光学轮廓仪使用宽带光源照明，其工作形式类似于一个光学聚焦传感器阵列，每个传感器上接收到的干涉信号的位置决定了最佳的聚焦位置。使用宽带照明克服了在单波长甚至是多波长技术中存在的局限性。WLI方法由于在MEMS元件、二元光学元件及机械加工表面等工程表面测量中的应用，早巳确立了它在光学轮廓仪中的领先地位。WLI的垂直分辨力依赖于对信号的分析，它和单波长PSI方法(0．3nm)几乎一样好，但是通常情况下在3nm附近。这里垂直分辨力的定义是在光滑样品上测量差值的均方根(RMS)。白光干涉    在干涉光学轮廓仪中使用的白光光源具有宽带可见光谱，波长从380～750nm(紫外光到红外光)。由于波长带宽很大这种光源的时间相干性低，并且不能将其看做点光源，也就意味着它的空间相干性也很低。光源很低的时间和空间相干性使得所产生的干涉条纹局限于空间上。    为了在最佳聚焦位置获得干涉条纹，参考镜的位置也需要设置在物镜的最佳聚焦点。这可以分三个步骤：首先，将参考镜从焦点处移开几个或者几十个微米；其次，将物镜聚焦在具有一些特征的检测对象上，比如说锐利而不太高的台阶上(此时还看不见条纹)；