非接触式光学显微镜孔径测量装置的测量应用

非接触式光学显微镜孔径测量装置的测量应用
两棱面上形成的干涉条纹宽度等距的情况，当两棱面形成的干涉条纹不等距时，必须对每个棱面分别定度，并分别计算每个棱面上零级条纹的移动。较好的方法是移动工作台，使测量标准具时，一个棱面的零级条纹的位置与测孔时同一棱面的零级条纹的顶点的位置重合。这样，只要计算另一棱面上零级条纹位置的移动，就可求得孔径对标准具尺寸之差。
    本装置的定度方法与接触式干涉仪相同。不过，由于棱镜面积小，只能取3～4条干涉条纹来计算格值。    非接触式干涉孔径测量装置的测量误差包括：①干涉读数系统的误差；②标准具误差；③工件安装调整不准确带来的误差；④环境温度变化带来的误差。    在①、②两项误差中，又包含着若干影响因素，在较严格控制各项因素及温差不超过0．2℃的条件下，对于直径小于直径20mm的孔，此方法的极限测量误差可小于±0．2μm。    上述干涉测孔的优点是可以得到很高的读数准确度。其缺点是操作复杂，工作条件较苛刻。；  最后还应指出，许多以直接比较方式测量轴、孔的量具仪器，加用量块或标准件后，也可以作徼差比较测量，以提高测量准确度。