角测量精度可在反射镜间距离微小变化-角测量误差

角测量精度可在反射镜间距离微小变化-角测量误差


    角测量误差    角测量精度可能在反射镜间距离微小变化时受到影响。为了将两个线性测量转换成一个角的测量，需要精确知道反射镜之间的距离。这种距离变化可能会由于角反射镜壳温度变化而发生变化。为了减少这种误差，过多的角反射器操作和不同温度介质的接触应当避免或者减到最小。   直线度测量误差  直线度测量精度在很大程度上取决于两个直线反射平面镜是否具有理想的表面特性。如果平面镜或凸或凹，这些特征会产生一个直线度误差，即使移动部件是沿着笔直的直线移动的。减少这种误差的一个方法是旋转直线度反射镜180°获得第二组测量。至少有两个测量结果集合可以采集，来计算实际的平均偏差。虽然这个过程可能会非常耗时，这是弥补直线度光学仪平面差距的一个有效方法。    直线相关的误差也可能发生在直线度反射参考平分线不是用激光干涉仪对齐的，导致失调(斜率)被错误地理解为直线度误差