线性误差可能有各种来源-以及直线度误差

线性误差可能有各种来源-以及直线度误差
   线性误差    线性误差可能有各种来源，包括沿导轨的几何缺陷和测量偏移／误差。对于所研究的XY工作台，最大的误差可能是来自于螺纹运动产生的非线性和反弹的有关误差。
螺纹运动的结构。机械接触的空气间隙可能导致实际的位移发生较大变化。这或许也解释了正向和反向线性误差测量的差异。
   直线度误差  直线度误差主要源于导轨。直线度误差测量是与一条参考直线的垂直偏差得到的。对XY工作台直线度误差，有两个组成部分是可以确定的，即与沿y轴线偏差有关的X轴直线度，以及与沿X轴线偏差有关的y轴直线度。任何误差软件补偿计划的成效非常依赖于由规定的校准方法获得的几何误差信息的可靠性。通过误差补偿，系统组成部分的几何误差是相关的。随机性质的误差不能得到补偿。机械校准过程中获得的误差测量将不可避免地包含系统误差和随机误差两个部分。为正确补偿系统误差，有效地分开这两个组成部分是至关重要的。现有的误差补偿方法中大多数都没有充分解决系统误差补偿中随机误差的影响。补偿的几何误差通常以误差校准样本的平均值为基准。这个均值基本上假定为一致的系统组件可补偿的误差，因为随机误差假设是过滤后的过程平均值。不幸的是，基本上这是不正确的，平均值的补偿可能导致严重不当的补偿，尤其是当校准过程中存在着明显的随机误差。在校准工作中，由于短期和暂时的干扰或噪声出现的无效样本或异常值，可以扭曲平均值偏离实际的系统误差，因而使用误差平均值可能导致不足或过多补偿。因此，采用一种加权方法考虑在误差样本中不同程度的随机误差分量发生的概率，可以更准确和更可靠地提取系统误差补偿的数据集。这样的统计方法需要大样本集进行校准，以便有足够大的数据存储密度运作。这样也导致了自动化技术、基于DSP的数据记录和分析系统的应用。