高分辨率的图像-电子显微镜相应焦距较短

  作者:厂家库小编DFW    2020-03-06    阅读:624

高分辨率的图像-电子显微镜相应焦距较短
    球差扩散弥散圆直径正比于孔径半张角的三次方,同时样品电流与孔径半张角的平方成正比。要想得到进行能谱或者电子背散射衍射分析所需要的大电流,必然会导致透镜球差显著增加。因此,这两者之间是相互矛盾的。一般来说要想获得高分辨率的图像.就应尽量减少球差.采用小孔光阑挡住外围电子束.这会大大降低样品电流.从而无法得到进行能谱或者电子背散射衍射分析所需的束流。    球差系数与透镜的焦距成正比关系.一般来说.透镜焦距越长.其球差系数也就越大。而工作距离指的是透镜极靴下表面与试样表面之间的距离,随着工作距离的增加其透镜聚焦焦距也相应增加,透镜球差系数也相应增加。因此,一般要获得高分辨率的图像应采用较小的工作距离.以保证球差扩散弥散圆足够小。
色差    色差是由于电子枪产生的电子经过加速后形成的高能电子束能量存在一定的能量扩展范围.能量大的电子焦距较长.反之.能量小的电子相应焦距较短。也就是说透镜对能量大的电子的偏转量小的电子相应焦距较短。也就是说透镜对能量大的电子的偏转作用小于能量较小的电子。因此,一束高能电子经过透镜后不会聚焦成为一个点
    色差导致的弥散斑直径与入射电子能量成反比,即加速电压越低,入射电子能量就越小.相应地色差就越大。

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