显微镜透镜的球差、色差等像差导致分辨率降低

显微镜透镜的球差、色差等像差导致分辨率降低
    扫描电镜50万倍的二次电子像和160万倍的STEM像均能得到清晰的材料显微结构细节。表现出优异的分辨率。但是与理论值相比，扫描电镜的实际分辨率还是相差10～100倍。这个巨大的差异主要是由以下三个因素导致的：    (1)透镜的球差、色差等像差导致分辨率降低；    (2)入射电子束同样品相互作用降低了分辨率；    (3)信噪比也影响了扫描电镜的分辨率。    球差    球差是由于透镜边缘部分对入射电子的折射比旁轴部分更强而导致的。旁轴电子束通过透镜后在高斯像平面与光轴的焦点上聚焦；由于折射角度的不同．非旁轴的电子束则聚焦在高斯像平面的左侧。因此，对于一个点源在通过透镜后不能在高斯像平面上形成清晰的聚焦点，而是在光轴靠近高斯像平面附近一定距离内成像。在这段距离内可以找到一个位置使点源在该平面成像较清晰且具有最小直径的圆斑(球差扩散弥散圆)。