表面粗糙度的光学式非接触测量光学分析显微镜

表面粗糙度的光学式非接触测量光学分析显微镜
    在表面粗糙度的光学式非接触测量中，光反射和散射等光学现象的利用也非常有效。     在此测量中，两组反射光光强的输出比随表面倾斜角分布偏差的增大而增大，并与被测材料有关。与光反射式非接触测量相类似，光散射式非接触测量是利用测量表面的散射光的角度分布进行表面粗糙度的测量。而激光光谱式非接触测量则是利用测量表面的反射光的光谱分析进行表面粗糙度的测量。     在非接触测量中，除了利用光学现象外，利用微被也能达到同样的效果。与光学式非接触原理一样，微波式非接触测量是利用微波辐射到测量表面，并通过检测反射微波的强度来计算表面粗糙度的。为微波式非接触测量系统，通过改变频率来对反射波进行检测，可用于车削、铣削和磨削表面粗糙度的测量，当粗糙度变高时，传感器的输出减小。    除了上述的接触式和非接触式直接测量外，表面粗糙度还可通过切削力等过程变量的检测进行间接推测。表面粗糙度与表面凸凹的高度和斜度有关，其中斜度变化对粗糙度的影响更大。